Реконструируется существующее здание с производственной площадью 4,8 тыс. кв. м, что позволит после модернизации осуществлять процесс экспонирования и развивать технологии до 60 нм.
К этому зданию пристраиваются три новых технологических корпуса, оборудование которых обеспечит основное производство энергией и необходимыми технологическими средами (газы, деионизованная вода, суспензии, химические среды, холод, вакуум).
Создаваемая здесь автономная тригенерационная газопоршневая станция (установленной электрической мощностью 42 МВт) будет вырабатывать электроэнергию и стабильно обеспечивать технологический процесс необходимыми объемами горячей воды, пара и холода. Основу ГПЭС составляют шесть газопоршневых двигателей (ГПД) Wartsila 16V34D электрической мощностью по 7 МВт каждый.
Проектировщик энергообъекта – ООО «Энергетические решения». Генеральный
...
Читать дальше »